液晶显示屏激光修复系统

  设备功能： 多波段(可见光、红外、紫外)激光修复系统主要用于将工艺中产生的粘连熔断，而不影响基底性能。或者将上下 层不导通的材质熔接。主要用于 TFT、FPD（LCD、PDP、OEC）、半导体器件、PCB 板的修复。多波段(可见光、 红外、紫外)激光修复系统的激光系统具有三波段脉冲激光输出功能，可修复多种材质。同时具备连线系统，能够修 复器件的开路线条。
 设备技术指标： 多波段(可见光、红外、紫外)激光修复系统的工作部件包括 4 部分：激光系统，长工作距离工业显微镜，面板三 维运动台和连线修复系统。

 激光系统 多波段(可见光、红外、紫外)激光修复系统的激光系统提供三波段（1064 nm，532nm 和 355nm）脉冲激光输 出，各个波段脉冲激光工作特性如下：
1064nm 波段脉冲激光

■ 可加工的材质：ITO, Ni,TFT, 彩色滤光片, SiO2, Poly Silicon

■ 输出功率：0.5 mJ/pulse~2.2 mJ/pulse(调节步进为1%)

■ 击打频率：1 Hz或 5Hz，以这两种击打频率工作时击打10 秒后停顿 10 秒

■ 最小加工尺寸：2μm（使用 100  物镜）

■ 最大加工尺寸：50μm（使用 50  物镜）
532 nm 波段脉冲激光

■ 可加工的材质：Al,Cu,Au, Poly Silicon,SiO2 ■ 输出功率：0.5 mJ/pulse~2.2 mJ/pulse(调节步进为1%)

■ 击打频率：1 Hz或 5Hz，以这两种击打频率工作时击打10 秒后停顿 10 秒

■ 最小加工尺寸：1μm（使用 100  物镜）

■ 最大加工尺寸：40μm（使用 50  物镜）
355 nm 波段脉冲激光

■ 可加工的材质：聚酰亚胺，氮化物，矽树脂

■ 输出功率：0.4 mJ/pulse~0.6 mJ/pulse(调节步进为1%)

■ 击打频率：1 Hz或 5Hz，以这两种击打频率工作时击打10 秒后停顿 10 秒

■ 最小加工尺寸：1μm（使用 100  物镜）

■ 最大加工尺寸：30μm（使用 50  物镜）
■ 激光光斑旋转：± 90°

■ 工作模式：1 单次击打模式 ，2 连续击打模式，3 Burst 模式

联系人：薛经理